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靶材厂家告诉你靶标的制作方法
Release time:
2022-10-28 13:16
靶材厂家告诉你靶标的制作方法
靶材厂家告诉你靶材是电子信息产业中经常使用的一种材料。虽然它用途广泛,但普通人对这种材料知之甚少。许多人对目标的制作方法感到好奇?它是如何分类的?接下来,小编将介绍目标材料的生产方法和分类应用
靶材厂家告诉你靶标制作方法:
1.铸造方法
靶材厂家告诉你铸造方法是将合金原材料按一定的组成比熔化,然后将熔炼后得到的合金溶液倒入模具中形成铸锭,加工后形成靶材。铸造方法通常需要在真空中熔化和铸造。常用的铸造方法有真空感应熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼。其优点是所制备的靶材杂质含量小,密度高,可大规模生产;缺点是当熔点和密度相差较大的两种或两种以上金属熔炼时,用常规熔炼方法很难制备成分均匀的合金靶材。靶材的制备需要低杂质含量和高纯度的材料。靶材的纯度会影响薄膜的均匀性。纯度越高,所制靶材的耐腐蚀性、电学和光学性能越好。然而,不同用途的靶材对纯度有不同的要求。例如,工业中使用的靶材对纯度的要求较低;然而,半导体、显示器等领域的目标材料对纯度有很高的要求。
2.粉末冶金
靶材厂家告诉你粉末冶金法是将具有一定组成比的合金原料熔化,然后将熔炼后获得的合金溶液铸成锭,压碎铸锭,静态成型粉碎粉末,然后在高温下烧结形成靶材。用这种方法制作的靶材具有成分均匀的优点;缺点是密度低,杂质含量高。常用的粉末冶金工业包括冷压、真空热压和热等静压。
靶材厂家告诉你材料的分类和应用
1.半导体相关目标:
电极和布线膜:铝靶、铜靶、金靶、银靶、钯靶、铂靶等。
储存电极膜:钼靶、钨靶、钛靶等。
粘附膜:钨靶、钛靶等。
电容器绝缘膜:锆钛酸铅靶材等。
2.磁记录目标:
垂直磁记录膜:钴铬合金靶材等。
硬盘薄膜:钴铬钽合金靶材、钴铬钽铂合金靶材等。
薄膜磁头:钴钽铬合金靶、钴铬锆合金靶等。
人造晶体薄膜:钴铂合金靶材、钴钯合金靶材等。
3.光记录目标:
相变光盘记录膜:碲化物靶材、硒化锑靶材、锗锑碲合金靶材、碲锗合金靶料等。
磁光盘记录膜:镝铁钴合金靶、铽镝铁合金靶、氧化镁靶、氮化硅靶等。
光盘反光膜:铝靶、铝钛合金靶、铝铬合金靶、金靶、金合金靶等。
光盘保护膜:氮化硅靶、氧化硅靶、硫化锌靶等。
靶材厂家
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