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靶材的一些知识点
Release time:
2022-12-27 10:27
芯片是手机的灵魂,所以我们这里说的靶材就是芯片的灵魂。芯片上有很多密密麻麻的金属线。这些金属丝不是手工焊接的,需要是高纯度的金属靶材,用溅射的方法完成。溅射是制备薄膜材料的主要技术。它利用离子源产生的离子在真空中加速聚集形成高速离子束,轰击固体表面。离子与固体表面上的原子交换动能,使得固体表面上的原子离开固体并沉积在基底表面上。被轰击的固体是溅射沉积薄膜的原料,称为溅射靶材。
ITO(氧化铟锡)靶材是溅射靶材中陶瓷靶材(复合靶材)的一种,占显示靶材的近50%。ITO是将氧化铟和氧化锡粉末按一定比例混合,经过一系列生产工艺加工成型,然后在高温气氛下烧结(1600.通氧气烧结)而成的黑灰色陶瓷半导体。
在平板显示器的制造过程中,ITO陶瓷靶材被用来制作透明电极。通过磁控溅射ITO靶材在玻璃或其他基底上形成约100nm的透明导电功能膜(TCO)。蚀刻后,该膜可用作各种透明电极。目前,ITO陶瓷靶材在国内已经大规模生产。
半导体陶瓷靶材主要用于栅介质膜。随着动态读写存储器向高集成度、大容量发展,开发新型高介电薄膜的需求日益迫切。HfO2薄膜具有高介电常数、高介电强度、低介电损耗、低漏电流、良好的电容-电压特性、良好的稳定性以及与基体硅的强结合性,被认为是一种很有前途的新型绝缘介质薄膜。
为了提高溅射效率,保证沉积薄膜的质量,大量实验表明,溅射陶瓷靶材需要满足以下要求:
1.纯洁。陶瓷靶材的纯度对溅射薄膜的性能有很大影响。陶瓷靶材的纯度越高,溅射薄膜的均匀性和批量产品质量的一致性越好。
2.密度。为了减少陶瓷靶材中的孔隙率,提高薄膜的性能,一般要求溅射的陶瓷靶材具有较高的密度。
3.成分和结构的一致性。为了保证溅射薄膜的均匀性,特别是在复杂的大面积镀膜应用中,需要达到良好的靶材成分和结构均匀性,这也是考虑陶瓷靶材质量的重要指标之一。
以上就是关于靶材的一些知识点,希望大家可以认真学习了解相关知识,选择合适自己需求的产品和设备,确保自己的效益,如果想了解更多详情,可以与我们联系。
靶材
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