合金溅射靶比其他材料有更高的要求，除了对纯度、尺寸、杂质含量、缺陷控制等一般要求外，还对表面粗糙度、成分和组织均匀性、杂质（氧化物）含量和尺寸有特殊要求。因此，在溅射合金靶的制备过程中，该方法非常重要，那么溅射合金靶的常用制备方法是什么？下面，我们来看下，铬铝靶—五种常见的溅射合金靶材的制备方法。
    一、铬铝靶—特种熔炼法
    特殊的熔炼方法是将合金原料按一定的成分比例熔化，然后将合金溶液注入模具中形成铸锭，再经机械加工制成靶材。常用的熔炼方法有真空感应熔炼熔炼、真空电弧熔炼和真空电子轰击熔炼。这些方法的优点是目标材料中的杂质含量低，特别是气体中的杂质含量高，而且目标材料可以大规模使用，但对于熔点和密度差异较大的两种或两种以上金属，很难获得成分均匀的合金靶材，如钛合金。
    二、铬铝靶—粉末冶金法
    粉末冶金法是将一定成分比例的合金原料熔化，铸造成锭，然后粉碎。粉碎后的粉末通过等静压成型，然后高温烧结形成靶材。该方法的优点是目标成分均匀；但缺点是密度低，杂质含量高。常用的粉末冶金工艺包括冷压、真空热压和热等静压。
    三、铬铝靶—强电流加热法
    强电流加热法采用可获得大电流的装置，利用大电流使两种主要原料的粉末发热，再施加一定压力，使得学生两种不同金属材料自身发展反应可以形成一种合金靶材，此方法研究可用与制作钛铝合金靶材。钛粉和铝粉发热，施以压力，使铝和钛自身行为反应过程中形成钛铝合金靶材。
    四、铬铝靶—热压等静压烧结方法
    热等静压烧结（HIPS）是一种在高温高压气体的作用下烧结坯体或预烧结体的方法。该方法是将两种金属粉末混合后，进行加粉、冷等静压、脱气、热等静压，再进行烧结加工，得到合金靶材。该方法适用于制造形状复杂的产品，可以提高产品的密度和性能。
    五、铬铝靶—热压烧结法

    热压烧结技术在制备钛合金溅射靶材方面具有很大的潜力。该技术工艺效率高，适合工业化生产。利用该工艺制备钛合金靶材，需要反复试验，选择合适的脱模剂，提高模具的成品率和利用率，优化烧结温度、升温速率、热压压力等热工工艺条件，提高生产效率，从而降低成本。在热力作用下烧结钛粉，利用铝在钛铝混合物中的低熔点将钛粉粘结在一起形成溅射合金靶。